ASML的EUV 光刻机机台得“光线”经过十几面反射镜，将光从光源一路导到晶圆，最后大概只能剩下不到 2% 的光线，能量浪费严重，一台光刻机一天使�

更多内容加载中...请稍候...

本站只支持手机浏览器访问，若您看到此段落，代表章节内容加载失败，请关闭浏览器的阅读模式、畅读模式、小说模式，以及关闭广告屏蔽功能，或复制网址到其他浏览器阅读！